싸이맥스는 로드포트 정렬 측정 장치에 대한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.
싸이맥스는 특허 내용에 대해 “웨이퍼나 반도체로 일컬어지는 기판 제조 공정에서 기판의 반송에 사용되는 로드포트에서 구동 상의 정렬 상태를 측정할 수 있는 로드포트 정렬 측정 장치에 관한 것”이라고 설명했다.
싸이맥스는 특허 내용에 대해 “웨이퍼나 반도체로 일컬어지는 기판 제조 공정에서 기판의 반송에 사용되는 로드포트에서 구동 상의 정렬 상태를 측정할 수 있는 로드포트 정렬 측정 장치에 관한 것”이라고 설명했다.
뉴스웨이 강길홍 기자
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