한미반도체, 'Ai 연구본부' 신설···"모든 반도체 장비에 신기술 탑재"

사진=한미반도체 제공

한미반도체가 인공지능(AI) 반도체 장비 경쟁력 강화를 위해 'Ai 연구본부'를 신설했다.

18일 한미반도체는 2022년부터 소프트웨어 연구본부 내에서 Ai 기술 개발을 추진해 왔으며, 이번에 Ai 연구본부를 구축했다고 밝혔다.

규모는 기존 Ai 전문 인력과 새로 합류한 우수 인재를 포함해 총 150여 명으로 꾸려졌다.

연구본부는 반도체 장비에 Ai 기술을 융합해 공정을 최적화하고 예측 분석을 고도화하는 등의 역할을 맡는다. Ai 기술을 탑재한 반도체 장비는 사람의 도움 없이 복잡한 공정 설정부터 품질 검사까지 스스로 알아서 수행할 수 있다.

한미반도체는 2024년 Ai기반 장비 오토세팅 기술인 'FDS(FullSelf Device Setup)'의 특허를 출원했다. 이는 장비에 스트립과 트레이만 넣으면 사람의 도움없이 얼라인마크(Align Mark) 인식부터 리포트 생성까지 자동으로 세팅해주는 기술이다. 기존에는 숙련된 엔지니어가 8시간에 걸쳐 수작업으로 장비를 세팅했지만, FDS를 도입하면 엔지니어의 개입 없이 단 35분 만에 그 작업이 완료된다.

Ai를 이용한 비전검사와 옵셋(Offset)량 예측을 통해 장비 정밀도도 크게 발전시켰다. 옵셋은 반도체 제조 공정에서 목표 위치와 실제 위치 간의 오차를 의미한다.

아울러 회사는 Ai 적용 범위를 전사 업무로 확대한다. 그 일환으로 출장보고서 데이터를 Ai에 학습시켜 장비 이력 분석과 문제점 진단을 지원하는 Ai 어시스턴트를 구축할 예정이다. 이를 통해 현장 엔지니어의 경험과 노하우를 체계적으로 축적하고 신속한 의사결정을 돕는다.

최근 한미반도체는 Ai 기반 FDS와 비전검사 기술을 '마이크로 쏘 앤 비전플레이스먼트 6.0 그리핀(MSVP 6.0 Griffin)에 적용했다. 이어 TC 본더 4를 포함한 신제품 장비에도 적용을 준비하고 있다. 회사는 2.5D 빅다이 TC 본더, 빅다이 FC 본더 등 향후 출시되는 모든 장비에 업그레이드된 Ai 기능을 도입할 계획이다.

한미반도체 관계자는 "Ai 연구본부 설립을 통해 글로벌 시장에서 반도체 장비 경쟁력을 더욱 강화해 나갈 것"이라며 "지속적인 투자와 연구개발에 최선을 다하겠다"고 말했다.