(공시) 테스, 기판 처리 장치 특허권 취득

테스는 25일 기판 상에 형성되는 박막의 막밀도 및 내식각성이 향상되는 기판 처리 장치 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사 측은 “장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력을 강화할 것이다”고 밝혔다.

강기산 기자 kkszone@