이는 스팀저장탱크에 수용된 스팀이 에어나이프 타입의 노즐로 이동하는 과정에서 스팀의 응축으로 인한 패널 검사의 효율과 정밀도를 저하시키는 문제점을 해결하기 위해 발명됐다.
스팀분사부를 지나는 스팀을 예열해 응축을 방지할 수 있는 스팀 예열부를 제공함으로서 분사용 스팀의 응축을 방지할 수 있으며 패널의 분사용 스팀이 고르게 분사할 수 있는 효과가 있다.
회사는 이 기술을 통해 디스플레이 검사장비 경쟁력 강화에 활용할 계획이다.
뉴스웨이 이보미 기자
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